Fullauto

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三友セミコンエンジニアリング株式会社

Auto_Cup_1.JPGクラスター式8Cup自動めっき装置

フルオートめっき装置

POSFER 300(ポスファー300)

POSFER 300(ポスファー300)

大量生産向けフルオートタイプ

対象ウエハサイズ:12インチ

用途:バンプ、ビア、再配線、W-CSP、MEMS

  • スピンリンサードライヤー搭載(ドライインドライアウト)
  • 高い面内均一性を実現するリングカソード
  • ミストプロテクト効果の高いクローズドカップ
  • ウエハホールド機構はシリンダーを排除したバルーンメソッド
  • 自動カソードクリーナー搭載
  • ロット毎の操作条件登録、管理操作が可能
  • SEMI-S2、SEMI-S8、CEマーキング対応
  • インラインアナライズ及び薬液自動補給システムをオプション装備可能
  • 自動液交換システムをオプション装備可能
クラスター型めっき装置

クラスター型めっき装置

フルオートカップタイプ

対象ウエハサイズ:4,5,6,8インチ

用途:バンプ、ビア、再配線、WLP、MEMS

  • 省スペース筐体(2,400mm x 2,400mm)
  • 各種めっき液に対応(Au、Cu、Ni、SnAg等)
  • Cu,Ni、SnAgなど複合めっきにも対応
  • 4,5インチは最大8CUP
  • 6インチは最大6CUP
  • 8インチは最大6Cup
  • スピンリンサードライヤー搭載(ドライインドライアウト)
  • レビトロポンプ仕様:ノンシアン金めっき液対応
  • タッチパネルによるレシピ登録が可能
  • ロット毎の操作条件登録、操業管理が可能
  • 自動カソードクリーナー(オプション)
POSFER C(ポスファーCシリーズ)

POSFER C(ポスファーCシリーズ)

大量生産向けフルオートタイプ

対象ウエハサイズ:4,5,6,8インチ

用途:バンプ、再配線、W-CSP、MEMS

  • スピンリンサードライヤー搭載(ドライインドライアウト)
  • 高い面内均一性を実現するリングカソード*
  • ミストプロテクト効果の高いクローズドカップ
  • 自動カソードクリーナー搭載
  • ロット毎の操作条件登録、管理操作が可能
  • めっき処理カップ数を2カップ単位で増設可能
  • SEMI-S2、SEMI-S8、CEマーキング対応可能
POSFER E(ポスファーEシリーズ)

POSFER E(ポスファーEシリーズ)

大量生産向けコンパクトなフルオートタイプ

対象ウエハサイズ:4,5,6,8インチ

用途:バンプ、ビア、再配線、W-CSP、MEMS

  • フットプリントを40%削減(当社比)、ワンフレーム構造
  • カップ内にパドル攪拌機構を有したStir-Cupを搭載
  • 2カップ/1タンクでメンテナンス性向上
  • スピンリンサードライヤー搭載(ドライインドライアウト)
  • 高い面内均一性を実現するリングカソード
  • ミストプロテクト効果の高いクローズドカップ
  • 自動カソードクリーナー搭載
  • ロット毎の操作条件登録、管理操作が可能
  • SEMI-S2、SEMI-S8、CEマーキング対応可能
POSFER M(ポスファーMシリーズ)

POSFER M(ポスファーMシリーズ)

大量生産向けフルオートタイプ(多層膜形成)

対象ウエハサイズ:4,5,6,8インチ

用途:バンプ、再配線、W-CSP、MEMS

  • 同一ユニット内で連続した多種類のめっきが可能
  • スピンリンサードライヤー搭載(ドライインドライアウト)
  • 高い面内均一性を実現するリングカソード
  • ミストプロテクト効果の高いクローズドカップ
  • 自動カソードクリーナー搭載
  • ロット毎の操作条件登録、管理操作が可能
  • めっき処理カップ数を2カップ単位で増設可能
  • SEMI-S2、SEMI-S8、CEマーキング対応可能
POSFER C-ST(ポスファーC-ST)

POSFER C-ST(ポスファーC-ST)

中量生産向けコンパクトなフルオートタイプ

対象ウエハサイズ:4,5,6,8インチ

用途:バンプ、ビア、再配線、W-CSP、MEMS

  • 中量生産向けのコンパクトなワンフレーム構造
  • カップ内にパドル攪拌機構を有したStir-Cupを搭載
  • スピンリンサードライヤー搭載(ドライインドライアウト)
  • 高い面内均一性を実現するリングカソード
  • ミストプロテクト効果の高いクローズドカップ
  • 自動カソードクリーナー搭載
  • ロット毎の操作条件登録、管理操作が可能
  • SEMI-S2、SEMI-S8、CEマーキング対応可能