Semiauto

めっき装置の設計・製作なら

三友セミコンエンジニアリング株式会社

Auto_Cup_1.JPGクラスター式8Cup自動めっき装置

セミオートタイプ

Stir CUP-PLATER(スターカッププレーター)

Stir CUP-PLATER(スターカッププレーター)

実験、開発、及び少量生産向けセミオートタイプ

対象ウエハサイズ:4,5,6,8,12インチ

用途:バンプ、ビア、再配線、W-CSP、MEMS

  • カップ内にパドル攪拌機構を有したStir-Cupを搭載
  • ミストプロテクト効果の高いクローズドカップ
  • 高アスペクトのビアフィリング性良好
  • 錫合金めっきの組成比率均一性良好
  • フルオートタイプ(POSFER)へのプロセスレシピ移行可能
  • SEMI-S2、SEMI-S8、CEマーキング対応可能
CUP-PLATER 300(カッププレーター300)

CUP-PLATER 300(カッププレーター300)

実験、開発、及び少量生産向けセミオートタイプ

対象ウエハサイズ:12インチ

用途:バンプ、ビア、再配線、W-CSP、MEMS

  • スピンリンサードライヤー搭載(ドライインドライアウト)
  • 高い面内均一性を実現するリングカソード
  • ミストプロテクト効果の高いクローズドカップ
  • ウエハホールド機構はシリンダーを排除したバルーンメソッド
  • フルオートタイプ(POSFER)へのプロセスレシピ移行可能
  • SEMI-S2、SEMI-S8、CEマーキング対応可能
CUP-PLATER(カッププレーター)

CUP-PLATER(カッププレーター)

実験、開発、及び少量生産向けセミオートタイプ

対象ウエハサイズ:4,5,6,8インチ

用途:バンプ、ビア、再配線、W-CSP、MEMS

  • 高い面内均一性を実現するリングカソード
  • ミストプロテクト効果の高いクローズドカップ
  • フルオートタイプ(POSFER)へのプロセスレシピ移行可能
  • SEMI-S2、SEMI-S8、CEマーキング対応可能
ラックタイプセミオートめっき装置

ラックタイプセミオートめっき装置

対象ウエハサイズ:4,5,6,8,12インチ

用途:バンプ、ビア、再配線、WLP、MEMS

  • 複合めっき(Cu、Ni、AuorSn/Agなど)に対応
  • 冶具への搭載は半自動でできます
  • カセット冶具を使用
  • カセット治具を交換することで片面、両面めっきに対応
  • スキージ攪拌により膜厚の均一性向上
  • カセット治具へウエハ搭載後コンタクトチェックが可能(オプション)
  • カセット治具は樹脂製で軽量化