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めっき装置の設計・製作なら

三友セミコンエンジニアリング株式会社

Auto_Cup_1.JPGクラスター式8Cup自動めっき装置

手動めっき装置

ラックタイプセミオートめっき装置 ラックタイプセミオートめっき装置

手動めっき装置

対象ウエハサイズ:2,3,4,5,6,8,12インチ

用途:バンプ、ビア、再配線、WLP、MEMS

  • カップ数は仕様により変更(最大26CUP)
  • 1cupの実験機から、量産機まで対応
  • 管理槽を分離することで、復数種のめっき液の使用が可能
  • タッチパネルによるレシピ登録が可能
  • ロット毎の操作条件登録、操業管理が可能