Experiment

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三友セミコンエンジニアリング株式会社

Auto_Cup_1.JPGクラスター式8Cup自動めっき装置

実験機

RAD-Plater(ラドプレーター)

RAD-Plater(ラドプレーター)

対象ウエハサイズ:4,5,6,8インチ

用途:バンプ、ビア、再配線、W-CSP、MEMS

  • カップ内にパドル攪拌機構を有したStir-Cupを搭載
  • 小型軽量設計。キャスター付きで移動も簡単
  • めっき液が10Lでの運用可能
  • 100V電源+エアーで簡単設置
  • 循環フィルターを装備
  • 給排液ポンプで保守性を向上
  • 高アスペクトのビアフィリング性良好
  • 錫合金めっきの組成比率均一性良好