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めっき装置の設計・製作なら

三友セミコンエンジニアリング株式会社

Auto_Cup_1.JPGクラスター式8Cup自動めっき装置

関連設備

AUROFINE(オーロファイン)

AUROFINE(オーロファイン)

めっきラインの回収槽から不純物と添加剤を分離し、PGC溶液として濃縮再生

  • 不純物分離、添加剤分離性能が高い
  • 再生効率が高く、濃縮再生されたPGC溶液は直接めっき液槽に補充が可能
  • 回収ロス、精製費、PGCの加工費の削減が可能
  • 毒物(シアン化合物)及び貴金属輸送リスクが軽減
スピン/リンスドライヤー

スピン/リンスドライヤー

台湾CALITECH社製

対象ウエハサイズ:4,5,6,8,12インチ

用途:ウエハ洗浄、乾燥

  • 特殊密閉構造によりパーティクルを減少
  • シングル、ダブルドラム対応
  • 少ない振動と安定した回転速度で洗浄、乾燥を実現
カスタム

ドラフト装置やバッチ式エッチング装置など各種Wet装置をカスタムで提供します。