SquareBoard

めっき装置の設計・製作なら

三友セミコンエンジニアリング株式会社

Auto_Cup_1.JPGクラスター式8Cup自動めっき装置

| HOME | 製作装置紹介 | ウエハBumpめっき装置 | 角基板用めっき装置 |

角基板用めっき装置

角基板用めっき装置

角基板用めっき装置

対象ウエハサイズ:4,5,6,8,12インチ

最大350mm角基板(セラミック、PCB、ガラス等のサブストレートに対応)

用途:バンプ、ビア、再配線、WLP、MEMS

  • 複合めっき(Cu、Ni、Auなど)に対応
  • 冶具への搭載は半自動でできます
  • カセット冶具を使用
  • カセット治具を交換することで片面、両面めっきに対応
  • スキージ攪拌により膜厚の均一性向上
  • カセット治具へウエハ搭載後コンタクトチェックが可能(オプション)
  • カセット治具は樹脂製で軽量