説明
| タイプ | フルオートカップタイプ |
| 対象ウエハサイズ | 4,5,6,8インチ 4,5インチは最大8CUP、6インチは最大6CUP、8インチは最大6Cup |
| 用途 | バンプ、ビア、再配線、WLP、MEMS |
| めっき液対応 | Au、Cu、Ni、SｎAg等 Cu,Ni、SnAgなど複合めっきにも対応 |
| 特徴 | ・省スペース筐体(2,400mm x 2,400mm) ・スピンリンサードライヤー搭載(ドライインドライアウト) ・レビトロポンプ仕様：ノンシアン金めっき液対応 ・タッチパネルによるレシピ登録が可能 ・ロット毎の操作条件登録、操業管理が可能 ・自動カソードクリーナー(オプション) |
