POSFER C-ST（ポスファーC-ST）
中量生産向けコンパクトなフルオートタイプ
| 対象ウエハサイズ | 4,5,6,8インチ |
|---|---|
| 用途 | バンプ、ビア、再配線、W-CSP、MEMS |
中量生産向けのコンパクトなワンフレーム構造- カップ内にパドル攪拌機構を有したStir-Cupを搭載
- スピンリンサードライヤー搭載（ドライインドライアウト）
- 高い面内均一性を実現するリングカソード
- ミストプロテクト効果の高いクローズドカップ
- 自動カソードクリーナー搭載
- ロット毎の操作条件登録、管理操作が可能
- SEMI-S2、SEMI-S8、CEマーキング対応可能