描述
| 类型 | 全自动杯型 |
| 目标晶圆尺寸 | 4、5、6、8 英寸 4,5 英寸至 8 CUP，6 英寸至 6 CUP，8 英寸至 6 CUP |
| 用 | 凹凸、过孔、重新布线, W-CSP, MEMS |
| 与电镀液兼容 | 金、铜、镍、锡银等 支持Cu、Ni、SnAg等复合镀层 |
| 特征 | ・ 节省空间的外壳（2,400mm x 2,400mm） ・ 配备旋转漂洗烘干机（干进干出） ・ Levitro 泵规格：兼容非青色镀金液 ・ 可以使用触摸屏注册食谱 ・ 可以注册每个批次的运行条件和运行管理 ・ 自动阴极清洁器（可选） |
