描述
类型 | 全自动杯型 |
目标晶圆尺寸 | 4、5、6、8 英寸 4,5 英寸至 8 CUP,6 英寸至 6 CUP,8 英寸至 6 CUP |
用 | 凹凸、过孔、重新布线, W-CSP, MEMS |
与电镀液兼容 | 金、铜、镍、锡银等 支持Cu、Ni、SnAg等复合镀层 |
特征 | ・ 节省空间的外壳(2,400mm x 2,400mm) ・ 配备旋转漂洗烘干机(干进干出) ・ Levitro 泵规格:兼容非青色镀金液 ・ 可以使用触摸屏注册食谱 ・ 可以注册每个批次的运行条件和运行管理 ・ 自动阴极清洁器(可选) |