CUP-PLATER
(カッププレーター)

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説明

タイプ実験、開発、及び少量生産向けセミオートタイプ
対象ウエハサイズ4,5,6,8インチ
用途バンプ、ビア、再配線、W-CSP、MEMS
マーキングSEMI-S2、SEMI-S8、CEマーキング対応可能
特徴・高い面内均一性を実現するリングカソード
・ミストプロテクト効果の高いクローズドカップ
・フルオートタイプ(POSFER)へのプロセスレシピ移行可能