説明
| タイプ | ラックタイプセミオートめっき装置 |
| 対象ウエハサイズ | 4,5,6,8インチ |
| 用途 | バンプ、ビア、再配線、WLP、MEMS |
| めっき液対応 | Au、Cu、Ni、SｎAg等 Cu、Ni、SnAgなど複合めっきにも対応 |
| 特徴 | ・冶具への搭載は半自動でできます ・カセット冶具を使用 ・カセット治具は樹脂製で軽量化 ・カセット治具を交換することで片面、両面めっきに対応 ・スキージ攪拌により膜厚の均一性向上 ・カセット治具へウエハ搭載後コンタクトチェックが可能(オプション) |
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