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ラックタイプセミオートめっき装置
カテゴリー:
セミオートタイプ
説明
説明
タイプ
ラックタイプセミオートめっき装置
対象ウエハサイズ
4,5,6,8インチ
用途
バンプ、ビア、再配線、WLP、MEMS
めっき液対応
Au、Cu、Ni、SnAg等
Cu、Ni、SnAgなど複合めっきにも対応
特徴
・冶具への搭載は半自動でできます
・カセット冶具を使用
・カセット治具は樹脂製で軽量化
・カセット治具を交換することで片面、両面めっきに対応
・スキージ攪拌により膜厚の均一性向上
・カセット治具へウエハ搭載後コンタクトチェックが可能(オプション)
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