説明
| タイプ | 電解エッチング装置（De-plating装置) |
| 対象ウエハサイズ | 4,5,6,8インチ |
| 用途 | Auエッチング シード層のエッチングをフルオートで行います |
| 特徴 | ・省スペース筐体(2,400mm x 2,400mm) ・最大6カップ搭載 ・スピンリンサードライヤー搭載(ドライインドライアウト) ・タッチパネルによるレシピ登録が可能 ・ロット毎の操作条件登録、操業管理が可能 |
めっき装置の設計・製作なら
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| タイプ | 電解エッチング装置（De-plating装置) |
| 対象ウエハサイズ | 4,5,6,8インチ |
| 用途 | Auエッチング シード層のエッチングをフルオートで行います |
| 特徴 | ・省スペース筐体(2,400mm x 2,400mm) ・最大6カップ搭載 ・スピンリンサードライヤー搭載(ドライインドライアウト) ・タッチパネルによるレシピ登録が可能 ・ロット毎の操作条件登録、操業管理が可能 |