描述
| 类型 | 电解蚀刻设备（去镀设备） |
| 目标晶圆尺寸 | 4,5,6,8 英寸 |
| 用 | 金蚀刻 种子层全自动蚀刻 |
| 打标 | ・ 节省空间的外壳（2,400mm x 2,400mm） ・ 最多安装 6 个杯子 ・ 配备旋转漂洗烘干机（干进干出） ・ 可以使用触摸屏注册食谱 ・ 可以注册每个批次的运行条件和运行管理 |
用于设计和制造电镀设备
用于设计和制造电镀设备
| 类型 | 电解蚀刻设备（去镀设备） |
| 目标晶圆尺寸 | 4,5,6,8 英寸 |
| 用 | 金蚀刻 种子层全自动蚀刻 |
| 打标 | ・ 节省空间的外壳（2,400mm x 2,400mm） ・ 最多安装 6 个杯子 ・ 配备旋转漂洗烘干机（干进干出） ・ 可以使用触摸屏注册食谱 ・ 可以注册每个批次的运行条件和运行管理 |