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三友セミコンエンジニアリング株式会社
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手動めっき装置
カテゴリー:
手動めっき装置
説明
説明
タイプ
手動めっき装置
対象ウエハサイズ
2,3,4,5,6,8インチ
用途
バンプ、ビア、再配線、WLP、MEMS
特徴
・カセット治具は樹脂製で軽量化
・カップ数は仕様により変更(最大26CUP)
・1cupの実験機から、量産機まで対応
・管理槽を分離することで、復数種のめっき液の使用が可能
・タッチパネルによるレシピ登録が可能
・ロット毎の操作条件登録、操業管理が可能