説明
| タイプ | 手動めっき装置 |
| 対象ウエハサイズ | 2,3,4,5,6,8インチ |
| 用途 | バンプ、ビア、再配線、WLP、MEMS |
| 特徴 | ・カセット治具は樹脂製で軽量化 ・カップ数は仕様により変更（最大26CUP） ・1cupの実験機から、量産機まで対応 ・管理槽を分離することで、復数種のめっき液の使用が可能 ・タッチパネルによるレシピ登録が可能 ・ロット毎の操作条件登録、操業管理が可能 |
めっき装置の設計・製作なら
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| タイプ | 手動めっき装置 |
| 対象ウエハサイズ | 2,3,4,5,6,8インチ |
| 用途 | バンプ、ビア、再配線、WLP、MEMS |
| 特徴 | ・カセット治具は樹脂製で軽量化 ・カップ数は仕様により変更（最大26CUP） ・1cupの実験機から、量産機まで対応 ・管理槽を分離することで、復数種のめっき液の使用が可能 ・タッチパネルによるレシピ登録が可能 ・ロット毎の操作条件登録、操業管理が可能 |