説明
| タイプ | 角基板用めっき装置 最大350mm角基板（セラミック、PCB、ガラス等のサブストレートに対応） ※350mm以上はご相談ください。 |
| 対象ウエハサイズ | 4,5,6,8,12インチ |
| 用途 | バンプ、ビア、再配線、WLP、MEMS |
| めっき対応 | 複合めっき（Cu、Ni、Auなど）に対応 |
| 特徴 | ・冶具への搭載は半自動でできます ・カセット冶具を使用 ・カセット治具を交換することで片面、両面めっきに対応 ・スキージ攪拌により膜厚の均一性向上 ・カセット治具へウエハ搭載後コンタクトチェックが可能(オプション) ・カセット治具は樹脂製で軽量 |