描述
| 类型 | 实验设备 |
| 目标晶圆尺寸 | 4,5,6,8 英寸 |
| 用 | 凹凸、过孔、重新布线, W-CSP, MEMS |
| 特征 | ・ 配备带桨式搅拌机构的Stir-Cup - 小巧轻便的设计。 带脚轮移动方便 ・ 可使用10L电镀液 ・ 安装方便，100V 电源和空气 ・ 配备循环过滤器 ・ 提高了供水/排水泵的可维护性 ・ 高纵横比与良好的啤酒填充 ・ 锡合金镀层成分比均匀性好 |
用于设计和制造电镀设备
用于设计和制造电镀设备
| 类型 | 实验设备 |
| 目标晶圆尺寸 | 4,5,6,8 英寸 |
| 用 | 凹凸、过孔、重新布线, W-CSP, MEMS |
| 特征 | ・ 配备带桨式搅拌机构的Stir-Cup - 小巧轻便的设计。 带脚轮移动方便 ・ 可使用10L电镀液 ・ 安装方便，100V 电源和空气 ・ 配备循环过滤器 ・ 提高了供水/排水泵的可维护性 ・ 高纵横比与良好的啤酒填充 ・ 锡合金镀层成分比均匀性好 |