説明
| タイプ | 大量生産向けコンパクトなフルオートタイプ |
| 対象ウエハサイズ | 4,5,6,8インチ |
| 用途 | バンプ、ビア、再配線、W-CSP、MEMS |
| マーキング | SEMI-S2、SEMI-S8、CEマーキング対応可能 |
| 特徴 | ・フットプリントを40％削減(当社比) ワンフレーム構造 ・カップ内にパドル攪拌機構を有したStir-Cupを搭載 ・2カップ/1タンクでメンテナンス性向上 ・スピンリンサードライヤー搭載(ドライインドライアウト) ・高い面内均一性を実現するリングカソード ・ミストプロテクト効果の高いクローズドカップ ・自動カソードクリーナー搭載 ・ロット毎の操作条件登録、管理操作が可能 |
