説明
| タイプ | 大量生産向けフルオートタイプ（多層膜形成） |
| 対象ウエハサイズ | 4,5,6,8インチ |
| 用途 | バンプ、再配線、W-CSP、MEMS |
| マーキング | SEMI-S2、SEMI-S8、CEマーキング対応可能 |
| 特徴 | ・同一ユニット内で連続した多種類のめっきが可能 ・スピンリンサードライヤー搭載（ドライインドライアウト） ・高い面内均一性を実現するリングカソード ・ミストプロテクト効果の高いクローズドカップ ・自動カソードクリーナー搭載 ・ロット毎の操作条件登録、管理操作が可能 ・めっき処理カップ数を2カップ単位で増設可能 |
