描述
| 类型 | Fully automatic type for mass production (multilayer film formation) |
| 目标晶圆尺寸 | 4,5,6,8 英寸 |
| 用 | 凹凸、过孔、重新布线, W-CSP, MEMS |
| 打标 | SEMI-S2, SEMI-S8, CE标志 |
| 特征 | ・ 可在同一单元内连续进行多种电镀 ・ 配备旋转漂洗烘干机（干进干出） ・ 实现高面内均匀性的环形阴极 ・ 具有高防雾效果的封闭杯 ・ 配备自动阴极清洁器 ・ 可以对每个批次的运行条件进行登记和管理。 ・ 电镀杯的数量可以以2杯为单位增加。 |
