POSFER C-ST

描述

类型适合中批量生产的紧凑型全自动型
目标晶圆尺寸4,5,6,8 英寸
凹凸、过孔、重新布线, W-CSP, MEMS
打标SEMI-S2, SEMI-S8, CE标志
特征・ 适合中批量生产的紧凑型单框架结构
・ 配备带桨式搅拌机构的Stir-Cup
・ 配备旋转漂洗烘干机(干进干出)
・ 实现高面内均匀性的环形阴极
・ 具有高防雾效果的封闭杯
・ 配备自动阴极清洁器
・ 可以对每个批次的运行条件进行登记和管理。