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三友半导体工程有限公司
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POSFER C
分类:
全自动电镀设备
描述
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类型
批量生产的全自动型
目标晶圆尺寸
4,5,6,8 英寸
用
凹凸、过孔、重新布线, W-CSP, MEMS
打标
SEMI-S2, SEMI-S8 and CE标志
特征
・ 配备旋转漂洗烘干机(干进干出)
・ 实现高面内均匀性的环形阴极*
・ 具有高防雾效果的封闭杯
・ 配备自动阴极清洁器
・ 可以对每个批次的运行条件进行登记和管理。
・ 电镀杯的数量可以以2杯为单位增加。
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